愛德華EPX180L半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng)

新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保

護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

IPX 系列，可提供的性能，與 EPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

應(yīng)用:

EPX 系列涵蓋的應(yīng)用，從水處理到中度工作負(fù)載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負(fù)荷鎖定）且通過制程機(jī)臺接口提供控制的清潔工作應(yīng)用。

功能和優(yōu)勢

緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級

道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可化功率效率。

的保護(hù)機(jī)械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力，并可以在所有進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。

超清潔機(jī)械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油

脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。

非常可靠EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術(shù)，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，程度地延長了

泵的使用壽命。

可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。

愛德華真空泵是半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的制造過程中*的部分，應(yīng)用于日益多范圍化的工業(yè)過

程，包括電力、玻璃和其他涂層應(yīng)用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué)；適用于科學(xué)儀器和許多研發(fā)應(yīng)用。

東莞比其爾真空泵保養(yǎng)維修：為客戶提供長期真空泵技術(shù)咨詢與指導(dǎo)，綜合維修保養(yǎng)、部件維修保養(yǎng)、預(yù)防性維修保養(yǎng)、

現(xiàn)場服務(wù)等售后服務(wù)項目。擁有專業(yè)的進(jìn)口真空泵維修車間，配件充足/維修速度快/提供備用機(jī)/

延長質(zhì)保.

服務(wù)細(xì)節(jié):您一旦下訂單，我們將會與您商定安裝日期。我們提供的系統(tǒng)調(diào)試步驟包括：正確組裝，全盤考慮所有必要的

技術(shù)性能檢測（若適用）的管道連接根據(jù)現(xiàn)場供應(yīng)情況安裝電氣設(shè)備（包括傳感器和控制系統(tǒng)集成（若有））正確加滿潤

滑油（如有需要）試運行，檢查并記錄輸出數(shù)據(jù)為操作人員提供系統(tǒng)操作培訓(xùn):指導(dǎo)檢測：公司擁有進(jìn)口檢測設(shè)備與專業(yè)技

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